EUVリソグラフィ
｜ネット関連の用語をまとめてみましたネット用語辞典【EUVリソグラフィとは？】
EUVリソグラフィとは？
極端紫外線リソグラフィ は、極端紫外線、波長13.5 nmにて露光する次世代露光技術である。
【引用元サイト名】Wikipedia
【引用元URL】https://ja.wikipedia.org/wiki/EUV%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3
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