MEMS

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ネット用語辞典【MEMSとは?】
MEMSについて:ネット用語辞典

MEMSとは?

MEMS は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。


【引用元サイト名】Wikipedia
【引用元URL】https://ja.wikipedia.org/wiki/MEMS


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