エピタキシャル成長

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ネット用語辞典【エピタキシャル成長とは？】

エピタキシャル成長とは？

エピタキシャル成長とは、薄膜結晶成長技術のひとつである。基板となる結晶の上に結晶成長を行い、下地の基板の結晶面にそろえて配列する成長の様式である。基板と薄膜が同じ物質である場合をホモエピタキシャル、異なる物質である場合をヘテロエピタキシャルと呼ぶ。結晶成長の方法として分子線エピタキシー法や有機金属気相成長法、液相エピタキシー法などがある。

【引用元サイト名】Wikipedia
【引用元URL】https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%A8%E3%83%94%E3%82%BF%E3%82%AD%E3%82%B7%E3%83%A3%E3%83%AB%E6%88%90%E9%95%B7

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