SEM

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ネット用語辞典【SEMとは？】
SEMについて：ネット用語辞典

SEMとは？

走査型電子顕微鏡 は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM（走査型透過電子顕微鏡）と呼ばれる。


【引用元サイト名】Wikipedia
【引用元URL】https://ja.wikipedia.org/wiki/SEM

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